科技银河电子平台最新版下载北京3月17日电（孙友芳 王雪姣 记者付毅飞）17日，记者从中国电科获悉，该银河电子平台最新版下载旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化。可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。据了解，在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素，按预定方式改变材料的电性能。这些元素以带电离子的形式，被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中。离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
作为国内唯一一家集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商，电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成核心发明专利413项，实现银河电子平台最新版下载芯片制造领域全谱系离子注入机自主银河电子平台最新版下载发展，有效缓解银河电子平台最新版下载芯片制造领域断链、短链难题。
电科装备有关负责人表示，下一步该企业将瞄准高端，紧跟先进工艺发展。加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。
中国电科供图
（孙友芳 王雪姣 付毅飞）
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